ЭМ-4615

em-4615

Установка предназначена для автоматического присоединения кристаллов на клей или припойную пасту при создании изделий 2,5D-интеграции: микросборок и дискретных приборов, а также других приборов микроэлектронной техники.


Захват кристаллов ведется из кассет и адгезионного носителя. Подача подложек и спутников с дискретными корпусами в зону присоединения производится автоматически «из магазина - в магазин».

Функциональные особенности установки
  • большое рабочее поле;
  • автоматическая смена инструмента;
  • высокоточная линейная координатная система X,Y с датчиками положения;
  • высокодинамичная координатная система Z с управлением от сервопривода;
  • подогреваемый рабочий столик для эвтектического присоединения кристаллов;
  • оптико-механическая ТВ-система для автораспознавания кристаллов на адгезионном носителе;
  • рабочая головка c программно управляемыми системами нагружений и поворота инструмента.
Технические характеристики 
ПараметрЗначение
Способ и метод присоединения Клей, паста, эвтектика (опция)
Типоразмеры кристаллов, мм 0,2 × 0,2 ... 25 × 25
Рабочее поле (Х,Y), мм 330 × 200
Воспроизводимость позиционирования кристаллов, мкм ±10 при 3σ
Температура рабочей зоны эвтектической пайки,°С До 400
Воспроизводимость позиционирования инструмента (φ°) ±0,2° при 3σ
Время цикла, с 1,0
Носитель кристаллов Кассеты,
адгезионный носитель Ø до 200 мм
Технологические параметры присоединения кристаллов Программируемые для каждого кристалла
Совмещение кристаллов Автоматическое / Ручное
Габаритные размеры, мм 1460 × 750 × 1870
Масса, кг 460