ЭМ-250К

em-250k

Установка ЭМ-250К предназначена для скрайбирования кремниевых пластин, сквозной резки по заданному контуру и сверления отверстий в пластинах из алюмокерамики, кремния и других материалов, используемых в микроэлектронике.

 

В качестве рабочего инструмента в установке используется Nd:YAG-лазер с акустооптической модуляцией добротности. Блок питания и охлаждения лазера оснащен системой выбора и стабилизации температуры охлаждающей воды, что позволяет поддерживать высокую стабильность уровня средней мощности лазерного излучения. Наличие блокировок по величине минимального потока охлаждающей воды и ее максимальной температуре позволяет повысить надежность и долговечность лазера.

 

 Технические характеристики 

ПараметрЗначение
Тип лазера Nd:YAG с диодной накачкой
Средняя мощность, Вт 10-25
Поле обработки, мм 150 х 150
Точность, мкм/с 5
Скорость линейных перемещений, мм/с До 400
Разворот по углу, ° 360
Электропитание и потребляемая мощность 230 В, 50 Гц, 6,5 кВт
Габаритные размеры, мм 1870x840x1300
Масса, кг 600