ЭМ-290

em-290

Установка лазерной обработки ЭМ-290 предназначена для формирования сквозных отверстий в кристаллах из пьезокварца, ниобата лития, танталата лития, лангасита, лангатата, алюмооксидной керамики, без изменения физических свойств кристалла и лазерной резки подложек микросистемотехнических устройств (МСТУ).

 

 

 

 Технические характеристики 

ПараметрЗначение
Толщина обрабатываемых пластин, мкм 150...1000
Поле обработки, мм 150х150
Минимальный диаметр обрабатываемого отверстия, мм 0.1
Воспроизводимость положений границ вырезаемых отверстий, мм Не более 0.005
Отклонение диаметра входного отверстия от диаметра выходного отверстия (для пластин из пьезоматериалов), % Не более 5
Максимальная величина скола, % Не более 4
Максимальная величина скола, % Не более 4
Максимальная величина скола, % Не более 4
Время сверления отверстия диаметра 100 мкм в пластине пьезокварца толщиной 0.5 мм, с Не более 30
Погрешность перемещения координатного стола на длине 150 мм, мм ±0,004
Минимальная дискретность перемещений X, Y, мм Не более 0.001
Воспроизводимость перемещений координатного стола по X, Y, мм Не более 0.004
Электропитание и потребляемая мощность 400В; 50Гц; 3кВт
Габаритные размеры, мм 2360х1100х1500
Масса, кг 1980