ЭМ-2090

em-2090

Установка ЭМ-2090 предназначена для шлифования и полирования полупроводниковых пластин.

 

Обработка пластины производится в 4 этапа: черновое шлифование, чистовое шлифование, предварительное полирование алмазным порошком и финальное полирование алмазным порошком.

 

Составные части установки:

 

В состав полировального станка входят два шпинделя (черновой №2 и чистовой №1), поворотный стол с пористой керамической вакуумной планшайбой для закрепления пластин и две системы автоматической подачи алмазной суспензии. Каждый шпиндель несёт двойной инструмент, в котором шлифовальный и полировальный инструменты меняются местами для поочередной обработки.

 

 Технические характеристики 

ПараметрЗначение
Диаметр обрабатываемых пластин, мм 75, 100, 150, 200
Шероховатость обработанной поверхности пластины, мкм До Ra 0,03, в зависимости от абразива и режимов
Механические напряжения на обработанной поверхности пластины после полирования, МПа Не более 10
Электропитание и потребляемая мощность 230В; 50Гц; 4 кВт
Габаритные размеры, мм 1750х1400х1500
Масса, кг 3200