|
|
Автомат предназначен для съёма годных кристаллов с пластины на рамочном носителе типа FF-080 (либо, по согласованию с заказчиком, с пялец) и укладки их в ячеистые кассеты «2×2» и кассеты типа GEL-PAK, с разбраковкой по внешнему виду: наличию маркировочного пятна, механическим дефектам разделения и комплексно с учетом годных изделий по электронной карте годности.
Автомат позволяет производить выборку кристаллов по карте функционального контроля, выдаваемой установкой зондового контроля. Система нагружения и устройство подкола позволяет снимать кристаллы с регулируемым усилием.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Кинематическая производительность, крист./час | До 5000 |
| Диаметр обрабатываемых пластин, мм | 100, 150, 200 |
| Размеры обрабатываемых кристаллов, мм | 0,3 × 0,3 ... 10 × 10 |
| Количество одновременно устанавливаемых кассет, шт. | 1 ... 8 |
| Размер кассет, дюймы | 2 × 2 |
| Размер определяемых дефектов (сколы, трещины), мкм | 100 |
| Габаритные размеры (д×ш×в), мм | 1460 × 720 × 1870 |
| Масса, кг | 460 |