|
|
Установка предназначена для автоматического присоединения кристаллов на клей или припойную пасту при создании изделий 2,5D интеграции: микросборок и дискретных приборов, а также других приборов микроэлектронной техники.
Захват кристаллов ведется из кассет и адгезионного носителя. Подача подложек и спутников с дискретными корпусами в зону присоединения производится автоматически «из магазина - в магазин».
Установка ЭМ-4615 оснащена высокоточной линейной координатной системой X,Y с датчиками положения, а также высокодинамичной координатной системой Z с управлением от сервопривода. Конфигурация установки включает две оптико-механических ТВ-системы: для автоматического распознавания кристаллов на адгезионном носителе и для распознавания кристаллов в кассетах и мест присоединения кристаллов.
Функциональные особенности установки
- Автоматическая смена инструмента;
- Автоматическое нанесение доз клея (пасты) дозатором;
- Нанесение клеевых отпечатков методом «штемпелевания»;
- Программируемые усилия захвата и присоединения кристаллов;
- Подогреваемый рабочий столик для эвтектического присоединения кристаллов;
- Рабочая головка c программно управляемыми системами нагружений и поворота инструмента.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Методы присоединения кристаллов | Клей, паста, эвтектика |
| Типоразмеры кристаллов, мм | (0,2 × 0,2) ... (25 × 25) |
| Носитель кристаллов | Кассеты, адгезионный носитель (Ø 75 ... 200 мм) |
| Поле перемещения инструмента по X, Y, мм | 200 × 330 |
| Воспроизводимость позиционирования инструмента с кристаллом по X, Y, мкм | Не более ±10 при 3σ |
| Угол поворота инструмента, ° | 360 |
| Воспроизводимость позиционирования инструмента по углу φ, ° | Не более ± 0,2° при 3σ |
| Регулирование усилия сжатия соединяемых элементов, Н | 0,15 ... 4,0 |
| Регулирование длительности присоединения кристаллов, с | 0,05 ... 10 (с дискретностью 0,05 с) |
| Регулирование температуры нагрева рабочей зоны при эвтектическом присоединении кристаллов, °С | 40 ... 400 |
| Время рабочего цикла без учета времени нанесения клея, пасты, с | Не более 1,0 |
| Энергопитание установки | 230 В, 50 Гц |
| Потребляемая мощность, кВт | Не более 1 |
| Сжатый воздух давлением, МПа | 0,5 … 0,6 |
| Вакуум с остаточным давлением, МПа | 0,02 … 0,04 |
| Габаритные размеры, мм | 1600 × 1300 × 1850 |
| Масса, кг | 1200 |