ЭМ-4615

em-4615


Установка предназначена для автоматического присоединения кристаллов на клей или припойную пасту при создании изделий 2,5D интеграции: микросборок и дискретных приборов, а также других приборов микроэлектронной техники.


Захват кристаллов ведется из кассет и адгезионного носителя. Подача подложек и спутников с дискретными корпусами в зону присоединения производится автоматически «из магазина - в магазин».


Установка ЭМ-4615 оснащена высокоточной линейной координатной системой X,Y с датчиками положения, а также высокодинамичной координатной системой Z с управлением от сервопривода. Конфигурация установки включает две оптико-механических ТВ-системы: для автоматического распознавания кристаллов на адгезионном носителе и для распознавания кристаллов в кассетах и мест присоединения кристаллов.


Функциональные особенности установки
  • Автоматическая смена инструмента;
  • Автоматическое нанесение доз клея (пасты) дозатором;
  • Нанесение клеевых отпечатков методом «штемпелевания»;
  • Программируемые усилия захвата и присоединения кристаллов;
  • Подогреваемый рабочий столик для эвтектического присоединения кристаллов;
  • Рабочая головка c программно управляемыми системами нагружений и поворота инструмента.
Технические характеристики
ПараметрЗначение
Методы присоединения кристаллов Клей, паста, эвтектика
Типоразмеры кристаллов, мм (0,2 × 0,2) ... (25 × 25)
Носитель кристаллов Кассеты, адгезионный носитель (Ø 75 ... 200 мм)
Поле перемещения инструмента по X, Y, мм 200 × 330
Воспроизводимость позиционирования инструмента с кристаллом по X, Y, мкм Не более ±10 при 3σ
Угол поворота инструмента, ° 360
Воспроизводимость позиционирования инструмента по углу φ, ° Не более ± 0,2° при 3σ
Регулирование усилия сжатия соединяемых элементов, Н 0,15 ... 4,0
Регулирование длительности присоединения кристаллов, с 0,05 ... 10 (с дискретностью 0,05 с)
Регулирование температуры нагрева рабочей зоны при эвтектическом присоединении кристаллов, °С 40 ... 400
Время рабочего цикла без учета времени нанесения клея, пасты, с Не более 1,0
Энергопитание установки 230 В, 50 Гц
Потребляемая мощность, кВт Не более 1
Сжатый воздух давлением, МПа 0,5 … 0,6
Вакуум с остаточным давлением, МПа 0,02 … 0,04
Габаритные размеры, мм 1600 × 1300 × 1850
Масса, кг 1200