|
|
Установка ЭМ-250К предназначена для скрайбирования кремниевых пластин, сквозной резки по заданному контуру и сверления отверстий в пластинах из алюмокерамики, кремния и других материалов, используемых в микроэлектронике.В качестве рабочего инструмента в установке используется Nd:YAG-лазер, оснащённый акустооптическим модулятором добротности.Блок питания и охлаждения лазера оснащен системой выбора и стабилизации температуры охлаждающей воды, что позволяет поддерживать высокую стабильность уровня средней мощности лазерного излучения. Наличие блокировок по величине минимального потока охлаждающей воды и ее максимальной температуре позволяет повысить надежность и долговечность лазера.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Тип лазера | Nd:YAG с диодной накачкой |
| Средняя мощность, Вт | 10-25 |
| Поле обработки, мм | 150 х 150 |
| Точность, мкм/с | 5 |
| Скорость линейных перемещений, мм/с | До 400 |
| Разворот по углу, ° | 360 |
| Электропитание и потребляемая мощность | 230 В, 50 Гц, 6,5 кВт |
| Габаритные размеры, мм | 1870x840x1300 |
| Масса, кг | 600 |